1.如果之前是能正常使用的，出現(xiàn)這種情況多數(shù)是負(fù)載發(fā)生變化導(dǎo)致匹配范圍超出如真空度，腔體發(fā)生變化。

2.如果腔體及靶材沒有發(fā)生變化，可以檢查一下預(yù)置位置是否太偏?？梢試L試取一個(gè)T/L 50%的預(yù)置點(diǎn)來重新匹配?；蛘邍L試手動(dòng)調(diào)節(jié)T/L是否能夠達(dá)到匹配。