VENA系列自動匹配器用于真空鍍膜、等離子刻蝕、等離子清洗、物理氣象沉積,化學氣象沉積,磁控濺射,以及太陽能制造設備PECVD等設備當中,主要功能是實現(xiàn)全自動匹配,解決了現(xiàn)在國內真空鍍膜設備中的一個技術空缺;具有自動,快速,可靠,高效,準確,節(jié)省人力和時間等特點??蛇x的射頻系統(tǒng)檢測模塊可實時檢測出系統(tǒng)的正反功率、駐波比、射頻信號峰值電壓、電流、直流偏置電壓等,從而使您能夠發(fā)現(xiàn)并顯著降低制程變化性。
優(yōu)勢
●性能安全可靠,長時間工作穩(wěn)定
●實時反射功率測量與控制
●優(yōu)化設計、安裝、使用與維修十分簡便
●傳輸效率高,運行噪音小
●屏蔽效果好
●可外接匹配控制盒,與其他射頻功率發(fā)生器配合使用
特點
●加強了鍍膜與刻蝕工藝的控制
●優(yōu)化的匹配算法加速匹配時間
●最大限度地減少駐波比與反射功率
●嚴格的可靠性測試
使用參數(shù):
匹配功率范圍 | 0-300W |
工作頻率: | 13.56MHZ |
正常工作反射功率 | <3W |
匹配時間 | <3S |
傳輸效率 | >90% |
匹配器電源 | AC220V/50-60HZ |
輸入連接器 | N型 |
輸出連接器 | UHF |
控制模式 | 手動/自動 |
可設預置點數(shù) | 7 |
匹配阻抗范圍 | 實部0-80Ω 虛部-j200-j200(可根據(jù)負載調節(jié)阻抗) |
匹配器尺寸 | 340X230X130MM |
整機重量 | 5.5KG |
冷卻方式 | 強制風冷 |